Charakterisierung und Bewertung von funktionellen Polymerbeschichtungen

Anwendung integraler optischer Methoden zur Schichtdickenmessung und Messung optischer und geometrischer Materialkenngrößen von polymeren Schicht Substrat-Systemen. Zum Einsatz kommt die spektroskopische Ellipsometrie bei variablen Winkeln (VASE). Es können Schichtdicken und optische Konstanten über einen weiten Schichtdickenbereich von wenigen Nanometern bis zu einigen zehn Mikrometern  sowie von Multischichten gemessen werden. Mit Simulation der Messdaten können weiterhin Aussagen zur Rauigkeit getroffen werden. Über die Wellenlängen-, Winkel- und Polarisationsabhängigkeit lassen sich mittels VASE fertigungsbedingte Vorzugsrichtungen durch eine anisotrope Reflexion ermitteln. Die Schnelligkeit von VASE-Messungen lässt ein Uniformitätsmapping über größere Bereiche zu. Die Eignung für eine Inline-Prozesskontrolle an der Universalbeschichtungsmaschine wird untersucht. Ein Nachweis von Schichtdefekten erfolgt durch das Verfahren der Weißlichtinterferenzmikroskopie. In Kombination mit Ritz- und Verschleißtests kann die Haftfestigkeit von Schichten untersucht werden. Die optischen Messungen zur Schichtdicke, Homogenität, Rauigkeit werden exemplarisch mit der  Rasterkraftmikroskopie verglichen.