Beeinflussung der Schichteigenschaften durch ionenstromadaptierte Bogenstromführung

Bei der Vakuumbogenbeschichtung ist für die Ausbildung des Substrat-Schicht-Interfaces und der eigentlichen Hartstoffschicht der Ionenstrom von entscheidender Bedeutung. Inhalt der Arbeiten soll es daher sein, durch Nutzung der Freiheitsgrade einer gepulsten Bogenstromversorgung den Ionenstrom in seinem zeitlichen Verlauf und seinen Absolutwerten derart zu steuern, daß verbesserte Schichteigenschaften (Härte, Haftfestigkeit, Struktur, Oberflächenrauhigkeit) erreicht werden. Diese Vorgehensweise wird im folgenden als ionenstromadaptierte Bogenstromführung bezeichnet. Dem Verfahren liegt die Idee zu Grunde, ähnlich wie beim stromgeregelten MAGC-Schweißen oder der Stufenpulse beim MSG-Impulsschweißen, einzelne, während eines Stromimpulses ablaufende Prozesse gezielt steuern zu können.