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Entwicklung von piezoelektr. Spiralfedern für die Anwendung in einer Uhr
Projektleiter:
Dadgar, Armin; apl. Prof. Dr.
Finanzierung:
Fördergeber - Sonstige;
Si basierte Spiralfedern werden in der metallorganischen Gasphasenepitaxie mit AlN bewachsen. Darauf folgt eine Prozesierung und Kontaktierung der innenliegenden Spiralfederflächen um so die induzierte Piezospannung als energiequelle zu nutzen.

Schlagworte

AlN MOVPE
Kontakt

apl. Prof. Dr. Armin Dadgar

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Naturwissenschaften

Institut für Physik

Universitätsplatz 2

39106

Magdeburg

Tel.:+49 391 6711384

armin.dadgar@ovgu.de

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