Reaktivgas / Naßreinigung von Siliciumoberflächen

Kationische Kontaminanten, partikuläre Verunreinigungen und ferner organische Reste beeinflussen Bauelemente auf Siliciumbasis hinsichtlich Langzeitstabilität, Reproduzierbarkeit und Ausbaute nachhaltig. Daher werden eine Vielzahlnaßmechanischer Reinigungsschritte mit Säuren und Laugen zur Anwendung gebracht, um die Flächendichten dieser Verunreinigungen gering zu halten. Verbunden damit sind hohe Ver- und Entsorgungsaufwendungen. Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung einer minimale Gasvolumina verbrauchenden Gas/Naß-reinigung von Silciumoberflächen, wobei die Reinigungsreaktionen hervorrufenden Chemikalien direkt am Ort der Siliciumscheibe erzeugt wird. Damit werden zum einen große Teile der Naßchemieversorgung in einer Fertigungsstätte überflüssig, zum anderen durch den Transport geeigneter Gase direkt zur Fertigungsstätte der hohe Transportaufwand der in Wasser gelösten Gase, die die Reinigungschemikalien darstellen, äußerst nachhaltig vermindert.