Mikromechanischer HF-Schalter mit Paddel- und Brücken-Kontaktfederstruktur

Im Rahmen des beantragten Vorhabens werden in weitestgehend CMOS kompatibler Herstellungsweise mikromechanische HF Schalter mit Paddel- und Brücken-Kontaktfederstrukturen unter Verwendung von Prozeßschritten der Siliziumoberflächen-Mikromechanik entwickelt. Die Leiterbahnen werden durch den Kontakt an der beweglichen Feder, die als Paddel oder als Brücke ausgeführt ist, mittels des elektrostatischen Antriebes, der durch je eine Elektrode auf dem Substrat und auf dem Paddel bei der Paddelstruktur und durch je zwei Elektroden auf dem Substrat und auf der Brücke realisiert ist, durch Anlegen einer elektrischen Spannung leitend miteinander verbunden oder auch wieder getrennt. Die Aufgabe des Projektes besteht in der Entwicklung einer hinsichtlich der mechanischen Spannungen optimierten Schichtstruktur aus einer leitenden und einer isolierenden Schicht für die Kontaktfeder, und in der Entwicklung des elektrostatischen Antriebs für die Bewegung der Paddel- oder der Brückenstruktur. Darüber hinaus müssen beide HF Schalter entworfen, hergestellt und in Abhängigkeit von den Herstellungsparametern charakterisiert werden.